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產(chǎn)品資料

半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D

半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
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  • 產(chǎn)品名稱：半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
  • 產(chǎn)品型號：XP-703D
  • 產(chǎn)品展商：日本新宇宙
  • 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
簡單介紹
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D 特點： *適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。 采用聲光報警。
產(chǎn)品描述
半導體特氣檢漏儀（自動吸引式）XP-703D
型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

專線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度
（單位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內(nèi)

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