電子背散射衍射（EBSD）技術(shù)是材料科學(xué)的重要表征手段之一，廣泛應(yīng)用于多個研究領(lǐng)域。其提供了全方位的微觀組織表征，包括晶體結(jié)構(gòu)測量、晶體取向測定、晶粒大小測定、物相鑒定等。
EBSD衍射區(qū)域只發(fā)生在樣品表層幾十個納米的深度范圍內(nèi)，所以對樣品制備的質(zhì)量要求很高，表面必須光潔平整、無污染層、無變形層以及無應(yīng)力。而振動拋光是一種有效制備EBSD試樣的方法，振動拋光機可快速去除樣品表面機械化制樣后殘留的細(xì)微劃痕和變形層，從而達到一個合格的EBSD樣品要求。
試樣表面的制備質(zhì)量很大程度上決定著EBSD的質(zhì)量，拋光布的表面質(zhì)量是保證振動拋光能夠完成的基礎(chǔ)。因此使用后對于拋光布的徹底清洗，這一步驟尤為重要。如果使用后不進行及時清洗，振動拋光機的工作容器中留有的殘渣及拋光液結(jié)晶顆粒等，會對下次的正常使用造成影響。
曾遇到過客戶在制備AI合金的EBSD樣品時，振動拋光完成后，發(fā)現(xiàn)樣品表面嵌入許多異常黃色顆粒，電鏡下無法觀察到衍射花樣。經(jīng)后續(xù)排查為上次銅合金振動拋光后殘留的銅顆粒碎屑，在振動拋光過程中隨著拋光布嵌入AI合金樣品表面。因此拋光布的徹底清洗是非常重要且必要的。
以下展示拋光布正確的清潔操作：
由于振動拋光機上的拋光布沒有頻繁更換的需求，所以是直接粘黏在底盤上的。
如果直接揭開清洗，再次粘黏時，布與盤之間會有輕微氣泡，拋光布也很可能因拉伸而產(chǎn)生變形，影響后續(xù)拋光質(zhì)量。如果樣品制備完成后長時間內(nèi)不使用設(shè)備，我們也需要對拋光布進行清潔。
由于其不像普通鐵盤粘黏的拋光布一樣可以直接取下清潔，因此有一部分客戶會覺得無從下手，今天我們就來看看如何正確通過三個簡單步驟清潔振動拋光機的拋光布吧!
關(guān)閉設(shè)備，擰開6個T型把手，端起整個拋光部件移至排污水池。
移開壓環(huán)，使用清水沖洗拋光室，并配合刮板去除殘余拋光液。
拋光室清洗完成后，同樣使用清水沖洗壓環(huán)，沖洗后蓋回拋光室。
放下拋光部件并轉(zhuǎn)動至卡孔位，安裝好6個T型把手，然后蓋上玻璃罩，自然晾干即可。