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產品資料

耐高溫石墨治具

耐高溫石墨治具
  • 如果您對該產品感興趣的話，可以
  • 產品名稱：耐高溫石墨治具
  • 產品型號：HY-020T
  • 產品展商：海銀
  • 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹
耐高溫石墨治具廣泛應用于半導體、光伏、航空航天等高溫工藝場景（如CVD、MOCVD、晶體生長等），其性能直接影響生產效率和產品質量。
產品描述

核心性能要求

特性 工業(yè)標準 特殊場景要求
耐溫性 ≥1800℃（惰性氣體） ≥2200℃（真空/超高溫應用）
抗氧化性 800℃空氣下壽命＞200小時 需SiC/Al?O?涂層（提升至1500℃）
熱導率 80-120 W/(m·K) 各向同性石墨（波動＜5%）
純度 灰分＜100ppm 半導體級＜5ppm（Na/K＜0.1ppm）


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