氧化:高溫下與氧氣反應(yīng),導(dǎo)致表面粉化(需在惰性氣氛中使用)。
機(jī)械磨損:硅錠脫模、搬運(yùn)過程中的摩擦。
熱應(yīng)力:頻繁升降溫導(dǎo)致微裂紋。
抗氧化處理:
使用SiC涂層(耐溫1800℃)。
在N?/Ar氣氛中工作。
定期清潔:
用超聲波清洗去除硅渣、粉塵。
避免硬物刮擦。
規(guī)范操作:
避免急冷急熱(控制升降溫速率)。
使用專用脫模劑(如氮化硼涂層)。