長處

■
與外部傳感器（NOVX 3150/3350/3360/7000等）結合使用，實現(xiàn)高精度+/-1V離子平衡
（無需外部傳感器+/-3V）■
獨特的自動離子平衡控制
延長
維護周期 ■高清潔度 ■
5802i、5810i 和 5822i 型離子發(fā)生器鼓風機專為潔凈室應用而
設計，
符合 ISO 4 級（進料標準） 209E Class 10）高清潔設計
■準直器選項
■自動電極清潔機構選項
■以

和本地支持