圖1 噴嘴部分(上噴嘴和下噴嘴)
*1:測量位置由150mm×150mm 20pF板的CPM(帶電板監(jiān)視器)在實際工件位置測量(斷電時間為±1000V→±100V衰減時間)。
*2:請使用清潔干燥的送風。 如果使用含水或含油的空氣,放電針會變臟,導致性能下降或導致故障。
*3:本機調節(jié)器設定的壓力值。