晶圓圖案檢測(cè)、 對(duì)準(zhǔn)、空隙和缺陷檢測(cè)
● 近紅外(1000 nm 或更高)聚光照明 ● 輻照度比傳統(tǒng)產(chǎn)品 增加約 3~12 倍 ● 高強(qiáng)度,自然風(fēng)冷
* 請(qǐng)注意,由于產(chǎn)品改進(jìn),規(guī)格可能會(huì)發(fā)生變化
* 顯示的數(shù)據(jù)是參考示例,不保證產(chǎn)品的質(zhì)量。