• 通過將隔膜安裝在封閉空間內(nèi)，壓力分兩段降低，結(jié)構(gòu)串聯(lián)，因此我們實現(xiàn)了一種機構(gòu)，可以獲得大約 FV-30 兩倍的真空壓力。
• HEPA 過濾器安裝在進氣和排氣部分。 它也可以用于潔凈室。 此外，可以從主體的透明窗口看到過濾器，因此您可以知道何時更換它。
• 處理范圍相當(dāng)于硅片，限制為 12 英寸。
• 管子有 Φ3×5、Φ4×6 兩種尺寸。
• 隨附的管子為 Φ3×5。

注 1：泵的流量和極限吸入壓力值以 50 Hz 表示。 當(dāng)在 60 Hz 下使用時，它減少了約 20%。
*此數(shù)據(jù)僅供日本國內(nèi)使用。