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產(chǎn)品資料

真空設(shè)備

真空設(shè)備
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：真空設(shè)備
  • 產(chǎn)品型號：SRC-100V
  • 產(chǎn)品展商：SATOVAC佐藤真空
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
產(chǎn)品描述

■研究開発、小ロット生産に適した小型?高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸著のユニットがあります。

研究開発用ロールコーター

主仕様

到達(dá)圧力 ×10?5 Pa
真空計(jì) BAゲージ、キャパシタンスマノメーター
ワークサイズ W100mm×L200ｍ×t 50～100um
送り速度 0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304 ?。?00×Ｈ850×Ｄ450㎜
ロールコーン φ250　水冷式
軸シール 磁気シール使用
成膜前プラズマ処理 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極　×１式
蒸発源 ① 70×200　ＤＣマグネトロン型　　×２式まで
② 抵抗蒸発源
主ポンプ ＴＭＰ　1100L/s
水分排気 ＣＲＹＯスーパートラップ
プロセスガス Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4㎡
ユーティリティ ?AC200V 3φ 100A 　　?冷卻水
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