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真空設備

簡單介紹

產品描述

支持各種高真空實驗、開發(fā)和生產過程。

風冷系統(tǒng)無需水管，減輕了維護負擔。

■100V電源，可在任何地方使用。

■主框架底座采用鋁材，重量輕。

■緊湊的設計，易于使用。

支持各種高真空實驗、開發(fā)和生產過程。

風冷系統(tǒng)無需水管，減輕了維護負擔。

■100V電源，可在任何地方使用。

■主框架底座采用鋁材，重量輕。

■緊湊的設計，易于使用。

●通過將輔助泵與隔膜式干式真空泵或渦旋式干式真空泵組合，可實現(xiàn)全干式排氣系統(tǒng)。

●啟動和關閉時間短。

●采用具有不易突然引入空氣的結構的渦輪分子泵。

（注意）故意反復引入空氣可能會引起故障。

●可以較低的成本獲得高真空氣氛。

●利用三通閥切換功能，僅使用輔助泵即可進行獨立排氣操作。

●維護、檢查方便。

<TPS> 類型

模型	TPS-50ZA	TPS-50ZB	TPS-50ZC	TPS-220ZA	TPA-220ZB	TPS-220ZC
渦輪分子泵	50升/秒			220升/秒
輔助泵	DW-60	USW-50N	MZ-2CNT	DW-120	USW-100N	ISP-250C
極限壓力	× ^10-5帕^*1		× ^10-3帕^*1	× ^10-5帕^*1		× ^10-4帕^*1
開始/停止時間	3/3分鐘^*2			2.2/3.5分鐘^*2
進氣直徑	VG-65			VG-100
所需電源（交流電）	100伏 15安
大量的	約51公斤	約55公斤	約45公斤	約56公斤	約59公斤	約70公斤
外部尺寸（寬 x 深 x 高毫米）	600×400×700	600×400×750	600×400×700	600×400×730	600×400×800	600×400×850

<DPS> 類型

模型	DPS-2-ZA	DPS-2-ZB	DPS-3-ZA	DPS-3-ZB	DPS-4-ZA	DPS-4-ZB
油擴散泵	58升/秒		150升/秒		215升/秒
輔助泵	DW-60	USW-50N	DW-120	USW-100N	DW-120	USW-150N
極限壓力	× ^10-4帕^*3
啟動時間	17分鐘^*2		22分鐘^*2
進氣直徑	VF-50		VF-80		VF-100
所需電源（交流電）	100伏 15安		100V 15A x 2 ^*4
大量的	約57公斤	約60公斤	約68公斤	約70公斤	約70公斤	約80公斤
外部尺寸（寬 x 深 x 高毫米）	600×400×935		600×400×995	600×400×1095	600×400×1030	600×400×1130

*1. 渦輪分子泵烘烤脫氣后，泵頭處的值。
*2. 啟動時間是進氣口關閉時的數(shù)值。具體時間取決于腔室容量。
*3. 進氣口關閉時的數(shù)值。
*4. 輔助泵和主泵的電源插頭各有兩個。
* 我們還生產定制版本，可根據您的需求和規(guī)格配置各種可選部件。

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