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真空設(shè)備

簡單介紹

① 爐內(nèi)?ワーク溫度（分布）測定ユニット：熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計 ② 急速冷卻ユニット：熱交換器、ファン、モーター、水冷配管 ③ パッキン保護水冷ユニット(300～650°C仕様) ：扉パッキン部、ヒーター?熱電対導入口パッキン部

產(chǎn)品描述

① 爐內(nèi)?ワーク溫度（分布）測定ユニット：熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷卻ユニット：熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300～650°C仕様) ：扉パッキン部、ヒーター?熱電対導入口パッキン部

シリーズ		槽內(nèi)寸法 mm	*高溫度範囲 ℃	加熱方式	槽內(nèi)到達圧力^*1 Pa	真空排気系	操作方式
DQ^*2	S	300□～1000□	200	外部加熱	×10¹	―	手動
DQ^*2	P	300□～1000□	200	外部加熱	×10¹	油回転真空ポンプ	手動
DY	P	400□～2000□	300～650	內(nèi)部加熱	×10¹	油回転真空ポンプ	自動
DY	MP	400□～2000□	300～650	內(nèi)部加熱	×10⁰	油回転真空ポンプメカニカルブースタ	自動
DH	DP	400□～1500□	300～650	內(nèi)部加熱	×10^-3	油回転真空ポンプ油拡散ポンプ	自動
DH	TP	400□～1500□	300～650	內(nèi)部加熱	×10^-4	油回転真空ポンプターボ分子ポンプ	自動

*1：ベークアウト後無負荷常溫での値です。
*2：DQシリーズでは*高溫度350～650℃(內(nèi)部加熱式)の自動操作仕様も製作可能です。

① 爐內(nèi)?ワーク溫度（分布）測定ユニット：熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷卻ユニット：熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300～650°C仕様) ：扉パッキン部、ヒーター?熱電対導入口パッキン部

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