シリーズ

流量特性
2→3(A→P)
C［dm3/（ s?bar）］

流量特性
2→3(A→P)
b

流量特性
2→3(A→P)
Cv

消費(fèi)電力（W）

真空使用可能

VZ100

0.19

0.071

0.042

1.8

-100kPa

VZ300

1.2

0.48

0.34

1.8

-100kPa

VZ500

2.7

0.34

0.69

1.8

-100kPa