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產(chǎn)品資料

重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN

重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN
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  • 產(chǎn)品名稱：重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN
  • 產(chǎn)品型號：全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN
  • 產(chǎn)品展商：HUGLE藤宮
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN 重慶內(nèi)藤機械設(shè)備有限公司 重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN
產(chǎn)品描述

全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN

它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動清潔裝置，這是新的曝光技術(shù)。除了拆卸/重新組裝內(nèi)部POD和外部POD之外，每個POD都使用單獨的專用CH進行清潔/干燥。
完全無人值守的操作也是可能的。
采用獨特的清潔/干燥技術(shù)實現(xiàn)納米級顆粒去除30年，作為半導(dǎo)體設(shè)備容器清潔設(shè)備制造商。

產(chǎn)品概述

-足跡設(shè)計
，專有清洗技術(shù)通過超精密清洗
和高效的干燥系統(tǒng)完全干燥實現(xiàn)通過
，全自動POD開放的交叉污染預(yù)防由
-RSP200兼容
機器人手自清潔系統(tǒng)內(nèi)置
-獨立專用室**

規(guī)范
裝置主體：1230（寬）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）

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