自動(dòng)滑動(dòng)晶圓(也可以手動(dòng)輸入)。SEMI標(biāo)準(zhǔn)載體之間的水平批量轉(zhuǎn)移。節(jié)省空間的桌面類型。
●SEMI標(biāo)準(zhǔn)載體間的水平批量轉(zhuǎn)移。 ●節(jié)省空間的桌面型 ●當(dāng)載體設(shè)置不正確時(shí),傳感器會(huì)停止傳輸。(AWT) ●在傳輸過(guò)程中檢測(cè)到過(guò)電流時(shí),傳輸臂停止以避免損壞晶圓。(AWT) ●200MM(AWT200,MWT200)或150毫米對(duì)應(yīng)???(AWT150,MWT150) 對(duì)應(yīng)于●自動(dòng)(AWT200,AWT150)或手動(dòng)(MWT200,MWT150)。
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