光譜反射儀是一種功能強(qiáng)大切且非接觸式的薄膜測量方法，膜厚儀器，當(dāng)薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)在測量系統(tǒng)范圍內(nèi)時，系統(tǒng)能又快又輕松的測量。在用來測量薄膜厚度時，有幾種常見的對光譜反射儀的誤解。比如： 1. 它只能測量薄膜厚度，且需要預(yù)先知道光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù)); 2. 和橢偏儀相比它的精度較低; 3. 只有一到兩個厚度可同時測量?！ ∵@些誤解反映了光譜反射儀這種技術(shù)沒有被充分利用。其使用方法和數(shù)據(jù)分析有待進(jìn)一步的深入?！ 」庾V反射儀和橢偏儀都是間接的測量方法，都需要建立一個模型，通過調(diào)整物理參數(shù)(厚度和光學(xué)常數(shù))，使得模型與測量得到的反射率曲線達(dá)到擬合度，以此來反推計算薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)。橢偏儀考慮了光的極化，采用P波和S偏振反射光之間的相位差異，然而光譜反射儀不使用相位差，光學(xué)膜厚儀，非常薄的薄膜對相位差敏感度很高，但薄膜厚度增加相位差敏感度會減少。事實上，橢偏儀在下列情況下較光譜反射儀有明顯優(yōu)勢： 1. 待測薄膜很薄<10納米 2. 在測量非吸收薄膜時，同步測量T、n(K=0) 3. 直接測量n，k值(主要用于未知材料的基片) 但是光譜反射儀在下列情況下具有明顯的優(yōu)勢： 1. 精度要求較高的厚度測量(除很薄的薄膜外)MProbe精度<0.01納米 2. 測量較厚的薄膜(>10微米)。Mprobe精度達(dá)到500微米 3. 更高的測量速度 Mprobe<1毫秒 4. 測量表面粗糙度 這兩種技術(shù)都可以測量復(fù)雜的多層薄膜，計算其厚度和材料的n、k值?！ ⊥ǔＨ藗兌际褂霉庾V反射儀，認(rèn)為它適合簡單的厚度測量：一至二層薄膜。下面是一些使用光譜反射儀證明其存在更復(fù)雜的應(yīng)用能力的例子：通常，測量poly-Si多晶硅和SiN(氮化硅)是兩個主要應(yīng)用，導(dǎo)致了橢偏儀和光譜反射儀在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域里有著廣泛的應(yīng)用。以傳統(tǒng)的使用方法，顯然不適合這些應(yīng)用。因此，說明光譜反射儀的應(yīng)用是非常有意義的。事實上如果運用得當(dāng)，測量它們非常成功。
塑料薄膜的厚度是指一定條件下測得的試樣的界面距離。鑒定標(biāo)準(zhǔn)只適用于光面、未經(jīng)壓花的薄膜。厚度測定的目的是為了弄清薄膜厚度的差異，同時，也是進(jìn)行其它測試時所必需的數(shù)據(jù)之一。
測定厚度使用厚度測定儀，也可使用千分尺。使用千分尺時，測定壓力必須恒定。
測定時所施加壓力的大小具有重要意義，薄膜越軟則影響越大，軟質(zhì)薄膜的測定壓力應(yīng)為0.25公斤/厘米2，硬質(zhì)薄膜為3公斤/厘米2。大于上述測定壓力，濕膜厚儀，薄膜會受壓縮，另一方面，薄膜膜厚儀，也應(yīng)防止將測定器過快觸及被測薄膜，否則，使軟質(zhì)薄膜變形。上述情況均會影響測定結(jié)果。測試時必須將薄膜平整地放在測定儀的測定位置上，必須定期復(fù)核厚度測定器的準(zhǔn)確度。
那么塑料薄膜厚度檢測需要什么儀器來測試呢？嘉儀專業(yè)研發(fā)了一款膜厚檢測儀，它的檢測范圍是：用范圍l 濕膜厚度檢測。l 干膜、硬涂層厚度檢測。l 玻璃、塑料、凝膠、光刻膠、電介質(zhì)厚度檢測。l 汽車工業(yè)中薄膜、光油、底漆厚度檢測。l 醫(yī)療設(shè)備中藥囊、藥品覆膜、包裝薄膜厚度檢測。l 光伏產(chǎn)業(yè)中透明導(dǎo)電氧化膜、減反射膜厚度檢測。l 食品包裝中卷式薄膜、液體隔離膜厚度檢測。