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技術(shù)文章

SIMCO-ION思美高4635局部清潔靜電消除離子發(fā)生器??

SIMCO-ION思美高4635局部清潔靜電消除離子發(fā)生器

SIMCO-ION思美高4635局部清潔靜電消除離子發(fā)生器

SIMCO-ION思美高4635局部清潔靜電消除離子發(fā)生器

製品情報(bào)
モデル4635クアッドバーは、従來のモデル4630/4632に更なる磨きを掛け、除電性能と使い易さを向上させた高クリーンイオナイザーです。レチクル用等、限られたスペース及びエアフロー環(huán)境における除電に適します。
特長
■獨(dú)自のIsoStat方式によるイオンバランス自動(dòng)調(diào)整を採用。調(diào)整作業(yè)は不要です
■供給電源は24V DC及び24V ACに対応
■単結(jié)晶シリコン電極の為、高クリーンかつ半導(dǎo)體デバイスにも**
■7.6cmの*小設(shè)置距離とコンパクトサイズが自在な設(shè)置レイアウトを?qū)g現(xiàn)
■新設(shè)計(jì)のパージエア流路は長距離、高速除電化を?qū)g現(xiàn)

仕様
イオン発生方式 コロナ放電式 ステディーステートDC方式
電極 単結(jié)晶シリコン(交換可能)
クリーン度 ISO Class 1(24V DC) ISO Class 2(24V AC)
対応パージガス クリーンドライエア 及びN2
エア接続 4mm內(nèi)徑配管
エア流量 ～25LPM
入力電圧 24V AC +/-5%, 50/60hz, 0.1A typ

24V DC +/-5% 0.025A typ
除電時(shí)間 15LPMエアパージにて<15sec, 30cm距離
(スタンダードカートリッジ)
15LPM エアパージにて <6sec, 30cm距離

(ジェットクロスチャンネルカートリッジ)
イオンバランス +/-20v　15cm距離
連結(jié)可能數(shù) 14-1535トランス使用時(shí) *大4臺
4030コントローラ使用時(shí)　*大　15臺
寸法 高さ33mm x 幅33mm x 長さ91mm
除くエア接続部
重量 108g