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技術(shù)文章

SIMCO-ION思美高5225離子風(fēng)棒

SIMCO-ION思美高5225離子風(fēng)棒

SIMCO-ION思美高5225離子風(fēng)棒

SIMCO-ION思美高5225離子風(fēng)棒

製品情報(bào)
モデル5225 エアロバーイオナイザーは、半導(dǎo)體等のスーパークリーンプロセス裝置內(nèi)での用途に専用設(shè)計(jì)されたバータイプイオナイザーです。
特長
■ワールドワイドにて無類の採用実績を有する?yún)g結(jié)晶シリコン電極は超低パーティクル特性と伴に電極材料によるメタル汚染リスクを回避
■パルスDC方式による広範(fàn)囲な除電能力
■フルデジタル回路により制御され、より安定化されたイオン発生及び長期イオンバランス
■除電ターゲット近辺に5200-SR外部センサー(オプション)を設(shè)置することにより、イオナイザーバー本體ではなく、除電ターゲット近傍のイオンバランスをフィードバック制御可能(5200-SRが接続されない場合は、イオナイザーバー本體內(nèi)蔵センサーがイオンバランスを自動(dòng)調(diào)整)
■半導(dǎo)體前工程用ＥＦＥＭに即した長さのバーを設(shè)定
■イオン発生出力、イオン発生時(shí)間、アラームしきい値等　各種パラメータが幅広い範(fàn)囲で設(shè)定可能なことにより、長距離用途や気流が弱い環(huán)境等フレキシブルに対応可能
■パラメータを數(shù)値入力するのみで高い再現(xiàn)性が得られ、短時(shí)間でのセットアップが可能
■シンプルなアラームIOに加え、無償提供されるDLL利用によるリアルタイムモニタリングが可能でありプロセス裝置內(nèi)の狀態(tài)把握に貢獻(xiàn)
仕様
Model 5225 AeroBar
入力電圧 24V AC, 50/60Hz, 1W Typ. IM6Tより供給。
通信形態(tài) RS485(IM6T～5225間)
出力電圧 0kv～約+/-20kv
出力形態(tài) パルスDCモード、ステディーステートDCモード(選択可)
出力電流 <15micro A 電流及び電圧制限回路內(nèi)臓
接続コネクタ RJ11, 4極4芯
イオン発生タイミング *小0.1sec, *大10sec 正負(fù)別個(gè)に設(shè)定可能
電極 単結(jié)晶シリコン電極 交換可能
オゾン発生量 <0.005ppm(24時(shí)間積算測定)
対応クリーン度 ISO Class1, 0.1 micron
寸法 高さ53mm x 奧行31mm x 長さ569mm (-22), 721mm(-28),

907mm(-36), 1128mm(-44), 1412mm(-56), 1636mm(-64),

1918mm(-76) 及び 2144mm (-84)
重量 -22:1.02kg 追加長につき0.17kg/30cm
外裝 ABS樹脂
Interface Module Model 5200-IM6T

入力電圧 24V DC +/-5%, 1.5A
通信形態(tài) Ethernet, RS232C
アラーム出力 リレー接點(diǎn)(V4.0以上のバージョンのみ)
寸法 高さ74mm x 奧行71mm x 長さ315mm

重量 2kg