MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡
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產(chǎn)品名稱:
MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡
產(chǎn)品型號:
MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡
產(chǎn)品展商:
其它的品牌
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
產(chǎn)品概述：
● 大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓**檢查(MX61L) ● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利 ● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求 ● 透射和反射照明可同時使用，極大提高液晶基板觀察效果
MX61半導(dǎo)體檢查顯微鏡的詳細介紹
MX61200mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡
產(chǎn)品概述：
● 大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓**檢查(MX61L)
● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利
● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
● 透射和反射照明可同時使用，極大提高液晶基板觀察效果
技術(shù)特點：
縮短檢查用時，提高檢查效率 |
自動聚焦附件 MX-AF | 透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLB |
MX專用的自動聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場和微分干涉相襯觀察。實現(xiàn)快速和**的自動對焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時也能實時準(zhǔn)確的找到焦面。 | 兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實現(xiàn)投射光簡易偏光觀察。 |
高反差，更高分辨率，更高倍率檢查 | 用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式 |
共聚焦附件 U-CFU | 熒光分光鏡模塊 |
共聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達0.18μm,并可對多層線條的器件分層對焦，獲得高分辨率，高反差的共焦圖像。 | 備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。 |
方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C | 用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查 近紅外線觀察附件 |
MX61/MX61L標(biāo)配包括一個RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動部分成為可能，并且可以實現(xiàn)使工藝線上的幾臺顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。 | 包括專門的紅外物鏡等附件，對從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實現(xiàn)對WAFER BUMP的**檢查 |
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