硅片厚度測量儀
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產(chǎn)品名稱:
硅片厚度測量儀
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硅片厚度測量儀
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0.00 元
簡單介紹
硅片厚度測量儀
· 硅片厚度數(shù)據(jù)的管理方法
1、數(shù)據(jù)收集功能（選配）
用RS-232功能+數(shù)據(jù)計算環(huán)軟件的組合，在測量每個工件時數(shù)據(jù)就自動的傳送給PC。
2、打印功能
在顯示部件上連接選配的BCD輸出打印機，在每個工程測量時，測量數(shù)據(jù)就自動的進行打印輸出。
· 特長
適用于各種硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更換規(guī)格時（更換檔位銷）
用提升杠桿發(fā)打印輸出指
硅片厚度測量儀的詳細介紹
硅片厚度測量儀
· 硅片厚度數(shù)據(jù)的管理方法
1、數(shù)據(jù)收集功能（選配）
用RS-232功能+數(shù)據(jù)計算環(huán)軟件的組合，在測量每個工件時數(shù)據(jù)就自動的傳送給PC。
2、打印功能
在顯示部件上連接選配的BCD輸出打印機，在每個工程測量時，測量數(shù)據(jù)就自動的進行打印輸出。
· 特長
適用于各種硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更換規(guī)格時（更換檔位銷）
用提升杠桿發(fā)打印輸出指令（給打印機或PC）
型號 | 6英寸用 | 8英寸用 | 12英寸用 |
商品編號 | 09002501 | 09002505 | 090025011 |
精度 （溫度20℃±1℃） | 累積指示誤差±0．15μm 行程3 mm以內(nèi) 重復精度0．2μm（20） |
測量部 | 傳感器 | PH-01 |
測力 | 1．2～2N/0～5 mm |
硅片直徑 | φ3″，φ4″，φ5″，φ6″ | φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″， | φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″ |
收張行程 | 5mm | 5 mm | 5mm |
尺寸 | 160(W)×175(D)×185(H)mm | 200(W) ×210(D)×185(H)mm | 300(W) ×291(D)×185(H)mm |
顯示部件 | 形式 | DH-151 |
顯示部 | 綠色熒光顯示管 |
顯示位數(shù) | 7位及［—］號 |
*小顯示量 | 0．0001 mm （ 0．1μm） |
尺寸重量 | 278(W) ×300(D)×81(H)mm, 約2．7kg |
電源 | AC85～250V， 50/60HZ, 10VA |
電源電纜 | 3m AC可分析 |
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