微型三光束平面鏡干涉儀
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產(chǎn)品名稱:
微型三光束平面鏡干涉儀
產(chǎn)品型號(hào):
微型三光束平面鏡干涉儀
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡單介紹
微型三光束平面鏡干涉儀的簡單介紹：
三光束平面鏡干涉儀專為與客戶提供的設(shè)備組合而設(shè)計(jì)；這種干涉儀在一個(gè)單元內(nèi)組合了三個(gè)干涉儀，因此可同時(shí)在軸向?qū)崿F(xiàn)三個(gè)納米級(jí)精度的長度測量。利用長度測量值之間的差值和相應(yīng)光束間距可以高精度地確定出角度值。俯仰角和偏擺角測量的動(dòng)態(tài)范圍約為兩分。
微型三光束平面鏡干涉儀的詳細(xì)介紹
微型三光束平面鏡干涉儀的詳細(xì)介紹：
三光束平面鏡干涉儀專為與客戶提供的設(shè)備組合而設(shè)計(jì)；這種干涉儀在一個(gè)單元內(nèi)組合了三個(gè)干涉儀，因此可同時(shí)在軸向?qū)崿F(xiàn)三個(gè)納米級(jí)精度的長度測量。利用長度測量值之間的差值和相應(yīng)光束間距可以高精度地確定出角度值。俯仰角和偏擺角測量的動(dòng)態(tài)范圍約為兩分。
由一臺(tái)超穩(wěn)定波長的氦氖激光器同時(shí)為三個(gè)干涉儀提供光源，這樣做是為了讓三個(gè)長度測量值都基于同一參考長度。單模光纖波導(dǎo)將其輸出光束傳導(dǎo)至干涉?zhèn)鞲袦y頭。反射鏡的運(yùn)動(dòng)被轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號(hào)，并傳送給電子電源/信號(hào)處理單元。
在測量較大位移的時(shí)候，使用穩(wěn)頻氦氖激光器，并且針對(duì)氣壓和環(huán)境溫度的變化對(duì)激光器進(jìn)行校正，以此為基礎(chǔ)來實(shí)現(xiàn)高測量精度。使用pc運(yùn)行相關(guān)軟件包，操作電子電源/信號(hào)處理單元并顯示測量數(shù)據(jù)。
主要工作特點(diǎn)
· 同時(shí)實(shí)現(xiàn)不同量值的超高精度測量：
- 三軸長度測量，或
- 兩軸長度測量加一個(gè)角度測量，或
- 單軸長度測量加一對(duì)角度測量
· 光源為高度穩(wěn)頻的he-ne 激光
· 單一激光器為三個(gè)測量臂同時(shí)提供光束
· 光束間距經(jīng)過出廠標(biāo)定
應(yīng)用
· 導(dǎo)軌、工作臺(tái)、顯微鏡和定位平臺(tái)的激光干涉測量
· 在進(jìn)行雙軸或多軸長度測量時(shí)的高精度俯仰和傾側(cè)校正
· 校準(zhǔn)計(jì)量設(shè)備和機(jī)床
· 差動(dòng)式測量（膨脹測量，材料測試）
· 更大范圍內(nèi)的角度測量（>±2’；可應(yīng)特殊要求而提供）
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