TIME3221技術(shù)參數(shù) 1、測量參數(shù)：Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr(c)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、PΔq； 2、傳感器：檢測原理：電感式測量范圍：400μm 針尖半徑：5μm 針尖材料：金剛石觸針測力：4mN 觸針角度：90° 導頭縱向半徑：45mm 3、*大驅(qū)動行程：19mm 4、量程和分辨力