技術(shù)規(guī)格：

測量規(guī)范：0.1-0.006

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（相當(dāng)于測量表面不平度深度范圍為0.1-0.03um）

工作距離：0.5mm

儀器的視場：目視 ф0.25mm

照相 0.21×0.15mm

儀器的放大倍數(shù)：目視500倍   照相168倍

測微目鏡放大倍數(shù)：12.5倍

測微分度值：0.01mm

綠色干涉濾色片波長  λ≈530nm

半寬度  λ≈10nm


干涉顯微鏡用途：本儀器是用來測量加工零件（平面、圓柱等外表面）粗糙度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線鍍層等深度。配上TV系統(tǒng)，使觀察更加清晰直觀。