高精度定位臺(tái)Q-MAX

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產(chǎn)品型號：

品牌：Felles

公司名稱：孚光精儀(中國)有限公司

所在地：天津南開區(qū)

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產(chǎn)品簡介

高精度定位臺(tái)Q-max是美國Nutec公司制造的高分辨率超級耐用定位工作臺(tái)，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度軌跡控制。

產(chǎn)品詳細(xì)信息

高精度定位臺(tái)Q-max是美國Nutec公司制造的高分辨率超級耐用定位工作臺(tái)，它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度軌跡控制。

高精度定位臺(tái)Q-max特點(diǎn)
精密定位臺(tái)具有25mm, 50mm 和100mm行程范圍
集成高精度線性編碼器，分辨率高達(dá)12.5nm
Quad-Vee Lock needle傳導(dǎo)系統(tǒng)提供恒定支持
滾珠絲杠或滾柱絲杠傳導(dǎo)，滯帶*小
重復(fù)精度高達(dá)亞納米，特別適合Z軸或垂直應(yīng)用

高精度定位臺(tái)Q-max應(yīng)用
高精度定位臺(tái)Q-max非常適合精準(zhǔn)軌跡控制的應(yīng)用，比如半導(dǎo)體光學(xué)測量，平板顯示測量，微電子測量設(shè)備，也作為OEM定位器件集成到這些大系統(tǒng)中，在全球范圍內(nèi)作為OEM器件存在40萬套的銷量。國際上，客戶用高精度定位臺(tái)Q-max在微電子晶圓制造中對液體精密加注，在激光和光學(xué)領(lǐng)域，科學(xué)家使用它精密控制光路等。
Q-Max Specifications

	QMX-25	QMX-50	QMX-100
Travel Length (mm)	25	50	100
Trajectory Control
Accuracy
Standard SP	± 2.0 μm	± 3.0 μm	± 4.0 μm
High Precision HP	± 0.5 μm	± 1.0 μm	± 1.5 μm
Straightness/Flatness
Standard SP	± 1.0 μm	± 2.0 μm	± 3.0 μm
High Precision HP	±0.5μm	±0.5μm	±0.5μm
Yaw/Pitch/Roll
Standard SP	4 arc-sec	5 arc-sec	7.5 arc-sec
High Precision HP	2 arc-sec	2 arc-sec	3 arc-sec
Extra High Precision XHP	1.2 arc-sec	1.5 arc-sec	2 arc-sec
Resolution
Linear Encoder	Standard Optional	50nm consult factory
Rotary Encoder	@1mm lead @50TPI	100nm 50.8nm
2 axis system
Orthogonality
Standard SP	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec
High Precision HP	3 arc-sec	3 arc-sec	3 arc-sec
Extra High Precision XHP	2 arc-sec	2 arc-sec	2 arc-sec