xyzθ定位平臺(tái) xyzθ positioner
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
xyzθ定位平臺(tái)采用美國(guó)Aerotech公司高精度定位臺(tái)構(gòu)造,實(shí)現(xiàn)在XYZ-Theta四維**定位,也是全球**的xyzθ定位臺(tái)和xyzθ位移臺(tái)。
產(chǎn)品詳細(xì)信息
xyzθ定位平臺(tái)采用美國(guó)Aerotech公司高精度定位臺(tái)構(gòu)造,實(shí)現(xiàn)在XYZ-Theta四維**定位,也是全球**的xyzθ定位臺(tái)和xyzθ位移臺(tái)。
xyzθ定位平臺(tái)采用XY位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)XY定位,采用升降臺(tái)實(shí)現(xiàn)Z軸定位,采用旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)進(jìn)行Theta定位,采用全數(shù)字伺服控制器,從而實(shí)現(xiàn)100mm x 100mm x 16mm x 360degree 的xyzθ定位,分辨率高達(dá)1nm 和0.36arcsec。
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