納米定位平臺(tái)X-TRIM X-TRIM
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
這款納米定位平臺(tái)X-TRIM是美國(guó)Nutec公司高速高精度真空納米定位臺(tái)和納米位移臺(tái),它采用先進(jìn)技術(shù)設(shè)計(jì), 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 適合高真空環(huán)境和非磁性定位應(yīng)用.
產(chǎn)品詳細(xì)信息
納米定位平臺(tái)X-TRIM采用了陶瓷伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),非常適合要求精度達(dá)到納米或壓納米的高精度和高重復(fù)精度的應(yīng)用,例如:精密生命科學(xué)儀器、顯微成像、納米準(zhǔn)直、微納加工、光學(xué)**定位等。
X-TRIM納米定位平臺(tái)特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動(dòng)任選:線性伺服或壓電驅(qū)動(dòng)
高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺(tái)
緊湊型封裝
可真空使用
超強(qiáng)工作能力,大吞吐量
納米定位平臺(tái)X-TRIM采用無(wú)鐵芯直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī),驅(qū)動(dòng)軸位于納米位移臺(tái)的中心線, 這種設(shè)計(jì)消除了非中心驅(qū)動(dòng)導(dǎo)致的偏航,空回等問(wèn)題.
納米定位臺(tái)集成了一個(gè)高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環(huán)的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標(biāo)準(zhǔn)配置就可以提供納米精度的定位.
納米定位平臺(tái)使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺(tái)高精度性能和嚴(yán)格的軌跡控制。
納米定位平臺(tái)也適合OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸,采用模塊化設(shè)計(jì),用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
這款納米定位平臺(tái)使用了非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù),提供堅(jiān)固,**,高速的定位,滿足高頻率大工作量的需要。納米定位平臺(tái)使用了先進(jìn)的無(wú)鐵直線電機(jī)直接確定技術(shù),確保**異的納米級(jí)定位性能。
納米定位平臺(tái)X-TRIM參數(shù)
行程(mm): 25和50mm(單軸或雙軸)
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng): 無(wú)鐵芯直線電機(jī)或陶瓷伺服電機(jī)
*大加速度: 由負(fù)載決定
*大速度: 200mm/s (無(wú)負(fù)載時(shí))
*大推力: 24N
*大負(fù)載: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構(gòu)造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復(fù)精度: 5倍精度
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XT 25 |
XT 50 |
XT 2525 |
XT 5050 |
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Travel Length (mm) |
25 mm |
50 mm |
25 x 25 mm |
50x 50 mm |
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Trajectory Control |
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Accuracy |
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Linear Encoder |
± 1.0μm |
± 2.0 μm |
± 2.0μm |
± 4.0μm |
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Straightness/Flatness |
± 1.0μm |
± 1.0μm |
± 2.0μm |
±2.0μm |
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Yaw/Pitch/Roll |
5 arc-sec |
5 arc-sec |
10 arc-sec |
10 arc-sec |
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2 axis system |
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Orthogonality |
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Standard Grade |
NA |
NA |
5 arc-sec |
5 arc-sec |
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High Precision |
NA |
NA |
2 arc-sec |
2 arc-sec |
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Extra High Precision |
NA |
NA |
1 arc-sec |
1 arc-sec |
納米位移平臺(tái),真空納米定位臺(tái)由中國(guó)**的進(jìn)口光學(xué)精密儀器旗艦型服務(wù)商-孚光精儀進(jìn)口銷售,先后為北京大學(xué),中科院上海光機(jī)所,中國(guó)工程物理研究院,航天3院,哈工大,南開(kāi),山東大學(xué)等單位提供**進(jìn)口的納米位移平臺(tái),真空納米位移臺(tái),納米位移臺(tái).
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