*初，橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數(shù)獨(dú)立的波長，*典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源?，F(xiàn)在大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長范圍內(nèi)以多波長工作(通常有幾百個波長，接近連續(xù))。和單波長的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優(yōu)點(diǎn):可以提升多層探測能力，可以測試物質(zhì)對不同波長光波的折射率等。

歷史：

    早期的橢偏研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學(xué)研究以及儀器的光學(xué)研究。計(jì)算機(jī)的發(fā)展和應(yīng)用使橢偏數(shù)據(jù)的擬合分析變得容易，促使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。硬件的自動化和軟件的成熟大大提高了運(yùn)算的速度，成熟的軟件提供了解決問題的新方法，因此，橢偏儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。