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公司新聞

紡織品含水率介紹
     紡織品含水率，成立于1988年4月。 STI隸屬于 日本富士重工責任有限公司（Fuji Heavy Industries Ltd，簡稱FHI），其作用是負責支援斯巴魯（Subaru）參與的全球汽車賽事。其中“**汽車拉力賽（World Rally Championship，WRC）”更加是STI的主要舞臺。斯巴魯WRX的比賽專用發(fā)動機，全部由STI組裝及調(diào)校，然后再運送到其英的賽車總部SWRT。
   紡織品含水率
   淺溝道隔離
   特點：
   能實現(xiàn)高密度的隔離，適合于深亞微米器件和DRAM等高密度存儲電路。
   般在器件制作之前進行，熱預(yù)算小。
   STI技術(shù)工藝步驟：先，類似LOCOS，依次生長SiO2淀積Si3N4涂敷光刻膠，光刻去掉場區(qū)的SiO2和Si3N4。其次，利用離子刻蝕在場區(qū)形成淺的溝槽。然后，進行場區(qū)注入，再用CVD淀積SiO2填充溝槽。后，用化學(xué)機械拋光技術(shù)去掉表面的氧化層，使硅片表面平整化。
   工藝復(fù)雜，需要回刻或者CMP 

尊敬的客戶：    
    您好，我司是支技術(shù)力量雄厚的高素質(zhì)的開發(fā)群體，為廣大用戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品、完整的解決方案和優(yōu)良的技術(shù)服務(wù)公司。
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