Shimadzu  TMP-1003LMC島津五軸磁懸浮分子泵維修成功  

Shimadzu島津TMP-1003LMC磁懸浮分子泵維修成功，金華杰分子泵維修團(tuán)隊(duì)，成功維修了多臺用于半導(dǎo)體設(shè)備上的島津TMP-1003LMC磁懸浮分子泵,日本島津Shimadzu TMP-1003LM/TMP-1003 LMC 磁懸浮渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統(tǒng)，無需使用油潤滑，在運(yùn)轉(zhuǎn)過程當(dāng)中，無任何摩擦，是真正做到完全無油、免維護(hù)、全方位安裝的渦輪分子泵，Shimadzu TMP-1003LM/TMP-1003LMC分子泵進(jìn)氣法蘭口VG200/ICF253/ISO200B，出氣法蘭口KF40，抽速可達(dá)到1080 L/s，轉(zhuǎn)速為35000 rpm，Shimadzu TMP-1003M島津磁懸浮分子泵對應(yīng)的控制器為：Shimadzu EI-D1003M

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Shimadzu  TMP-1003LMC島津五軸磁懸浮分子泵渦輪

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