Agilen安捷倫TPS-Compact  Dry  TwisTorr 84 FS分子泵機組保養(yǎng)，Agilen TPS-compact  TwisTorr 84 FS  Dry Turbo Pumping System便攜式分子泵系統(tǒng)是由安捷倫TwisTorr 84 FS渦輪分子泵和IDP-3干式渦旋泵組成，進氣法蘭口KF40/ISO63,抽速可達到49 L/s-67 L/s，真空度5X10-9 mbar.

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