德國(guó)德?tīng)柛?Polytron 3500 氣體檢測(cè)儀器
德國(guó)德?tīng)柛?Polytron 3500 氣體檢測(cè)儀器產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體工業(yè)的氣體監(jiān)測(cè)專家:德國(guó)德?tīng)柛?Polytron 3500 氣體檢測(cè)儀器基于裂解原理,用于連續(xù)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的毒氣如NF3,和氟化物如C4F6, C5F8。Polytron3500變送器集所有必要功能位一體,如氣體采樣,處理和分析。
選擇性監(jiān)測(cè)
選擇合適的熱解爐內(nèi)部溫度和合適的傳感器,可對(duì)三氟化氮 NF3 或 氟化/氯化有機(jī)化合物(如 C4F6、C5F8 和其它 PFC)進(jìn)行選擇性監(jiān)測(cè)。
使用方便
德國(guó)德?tīng)柛?Polytron 3500 氣體檢測(cè)儀器熱解器基本無(wú)需操作上的設(shè)置或調(diào)整。 4 至 20 mA 輸出信號(hào)外加特殊狀態(tài)信號(hào)可直接連至另一系統(tǒng)做進(jìn)一步信號(hào)處理。
安裝快速而簡(jiǎn)單
分體式設(shè)計(jì)理念——由安裝基座和變送器主機(jī)構(gòu)成,可以節(jié)省時(shí)間和成本?;梢灶A(yù)先安裝。 設(shè)備試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),主機(jī)可通過(guò)插鎖方式與基座連接,預(yù)熱過(guò)后即可投入運(yùn)行。
測(cè)量結(jié)果可靠