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等離子設(shè)備半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
日期：2025-11-08 18:01
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摘要：在光刻膠灰化、晶圓減薄和應(yīng)力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應(yīng)用中應(yīng)用的微波等離子清洗機(jī)對(duì)硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導(dǎo)體材料進(jìn)行處理。微波等離子體清洗機(jī)特別適合于處理對(duì)靜電敏感的器件
在光刻膠灰化、晶圓減薄和應(yīng)力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應(yīng)用中應(yīng)用的微波等離子清洗機(jī)對(duì)硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導(dǎo)體材料進(jìn)行處理。微波等離子體清洗機(jī)特別適合于處理對(duì)靜電敏感的器件