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等離子清洗機(jī)去除芯片表面的污染物

日期：2025-11-10 00:05
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摘要：采用等離子體清洗機(jī)，可輕松去除生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的分子級(jí)污染，從而顯著提高了封裝的可制造性、可靠性和成品率。對(duì)于芯片封裝生產(chǎn)，等離子清洗工藝的選擇取決于后續(xù)工藝對(duì)材料表面的要求，材料表面的原始特性，以及其化學(xué)性質(zhì)。 并且在芯片和微機(jī)電系統(tǒng)的包裝中，基板、底座和芯片之間有大量的導(dǎo)線連接。導(dǎo)線連接仍然是實(shí)現(xiàn)芯片焊盤(pán)與外部導(dǎo)線連接的重要方式。如何提高導(dǎo)線連接強(qiáng)度一直是業(yè)界研究的問(wèn)題。 真空等離子體清洗機(jī)是一種有效、低成本的清洗設(shè)備，具體有有什么作用呢？ 1、它能有效去除基板...

采用等離子體清洗機(jī)，可輕松去除生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的分子級(jí)污染，從而顯著提高了封裝的可制造性、可靠性和成品率。等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱(chēng)為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合。


等離子體清洗機(jī)是一種有效、低成本的清洗設(shè)備，能有效去除基板表面可能存在的污染物。通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂，



采用等離子體清洗機(jī)，關(guān)鍵強(qiáng)度和關(guān)鍵絲張力的均勻性會(huì)顯著提高，對(duì)提高關(guān)鍵絲的關(guān)鍵強(qiáng)度有很大的作用。
在引線關(guān)鍵之前，可以利用等離子清洗機(jī)清洗芯片接頭，提高關(guān)鍵強(qiáng)度和成品率。

在芯片封裝中，關(guān)鍵前采用等離子體清洗機(jī)清洗芯片和載體可以提高其表面活性，可以有效防止或減少間隙，提高附著力。


等離子清洗機(jī)增加了填充物的邊緣高度，提高了封裝的機(jī)械強(qiáng)度，減少了因材料之間熱膨脹系數(shù)不同而在界面之間形成的剪應(yīng)力，提高了產(chǎn)品的可靠性和使用壽命。
因?yàn)殂~暴露在空氣中或在有水的作用下，很容易使銅發(fā)生氧化反應(yīng)，所以不太可能長(zhǎng)時(shí)間處于原銅狀態(tài)，此時(shí)需要對(duì)銅進(jìn)行特殊處理，即等離子清洗機(jī)的表面處理工藝。
等離子體清洗機(jī)不僅沒(méi)有引起銅層的剝離，還提升表面亮度，良好的金屬聚合物粘結(jié)性