VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品概述：

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

主要特點(diǎn)：

l  真空吸附方式固定樣件，操作簡便。

l  使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

l  根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。

l  設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。

l  電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

l  50W/24V 直流電機(jī)

l  適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）

參數(shù)：

l  電機(jī)功率：50W/24V

l  速度范圍：500-10000rpm

l  程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

l  增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s

l  時(shí)間范圍：0-60s

l  吸盤：Φ19mm、Φ60mm

進(jìn)氣口：上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

可選加熱部分：上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，*高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。

產(chǎn)品規(guī)格：

l  尺寸：450mm×280mm×340mm；

l  重量：20kg

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