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技術(shù)文章

離子風(fēng)機的基礎(chǔ)
      美國靜電協(xié)會和國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會等組織的靜電控制體系可以幫助企業(yè)解決靜電問題。這些體系主要的技術(shù)方法是，用于靜電導(dǎo)電材料和靜電耗散材料直接接入大地以消散靜電。不幸的是，產(chǎn)品本身和工作環(huán)境都不可避免地會用于絕緣材料。當(dāng)絕緣材料就是產(chǎn)品本身的組成部分時，你無法將其替換，如高科技產(chǎn)品制造中會用于含有氧化層的硅片、半導(dǎo)體器件封裝的環(huán)氧樹脂、器件引腳上的絕緣材料、環(huán)氧樹脂印刷線路板， FPDs 行業(yè)中的玻璃片等等。此外，適應(yīng)特殊環(huán)境，如耐高溫、耐腐蝕以及潔凈室兼容用于的材料：特氟隆、石英以及許多塑料材料都是絕緣材料。接地不能消除絕緣材料上的靜電荷，因此，多數(shù)情況下，**的辦法就是用于離子風(fēng)機中和處理 。 

      盡管多數(shù)的靜電控制體系中都推薦用于空氣離子化，但它們卻很少在文件當(dāng)中說明空氣離子化的用于方法以及在生產(chǎn)中用于離子風(fēng)機產(chǎn)生的影響。對于許多行業(yè)來講，用于空氣離子化控制靜電非常重要，希望通過本文能為空氣離子化的用戶提供一些被忽略的信息。 
      小空氣離子能夠在靜電荷電場的作用下在空氣中移動。一個靜電場作用在帶電離子的空氣，會吸引相反極性的空氣離子移向產(chǎn)生電場的電荷。離子被吸引到具有極性相反電荷的物體表面，直至電荷被中和，靜電場消失為止。這是用于空氣離子控制靜電的基本原理。 

      離子風(fēng)機的離子平衡度，或者說是偏執(zhí)電壓，可以用于充電板監(jiān)測儀測量，這在靜電協(xié)會關(guān)于空氣離子化的標(biāo)準(zhǔn)中進行了定義。 ANSIESDSTM3.1 是**得到世界范圍認(rèn)可的離子化的標(biāo)準(zhǔn)，也為許多國際靜電控制標(biāo)準(zhǔn)所推薦。作為標(biāo)準(zhǔn)的測試方法，它只對不同的系統(tǒng)或同一系統(tǒng)的整個過程，定義了測試儀器和測試方法，而沒有指定技術(shù)要求，因為空氣離子化用于中會有不同的情況。對于*終客戶來說，要解決靜電荷問題，放電時間應(yīng)當(dāng)予以確定。 
      選擇離子化方式。被保護產(chǎn)品的 ESD 敏感度通常決定了*佳的離子化設(shè)備種類。越敏感的產(chǎn)品需要離子平衡能力越**，越穩(wěn)定的離子化設(shè)備。它要求用于 CPM 測量離子化設(shè)備的平衡度不能超過幾十伏。 
      選擇離子風(fēng)機還可能要考慮其他的一些因素。這包括能否用于氣流，離子風(fēng)機與工作區(qū)的距離，以及潔凈室對于離子風(fēng)機的兼容性等等。有多種方法可以通過電暈電離產(chǎn)生和推動帶有兩種極性離子的空氣作用到工作區(qū)。這些方法主要區(qū)別在于是否用于交流高壓，直流高壓，或是脈沖直流產(chǎn)生離子。交流離子化。交流離子化技術(shù)的原理是，將交流高壓加在彼此接近的離子發(fā)射極上，發(fā)射極會以 50 或 60Hz 的交流頻率交替產(chǎn)生正負(fù)離子。由于高于電離電壓點的時間只占整個時間的一部分，所以交流離子化的效率較低。