對于潔凈室的潔凈度的維持和控制，除了硬件設(shè)備配合投資外，也需要良好的軟件--管理制度來配合，方能維持良好的潔凈度。半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的微污染來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80％。實驗數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進出潔凈室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因，人是主要因素。即使人是*大的污染源，但潔凈室總是需要有人操作的，那么該怎么辦呢？
一、作業(yè)人員之管理，在潔凈室內(nèi)污染來源80％來自作業(yè)人員，因此若能使作業(yè)人員依潔凈室管理辦法確實執(zhí)行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產(chǎn)生可說已減少大半。
二、進入潔凈室之人員，必須要具備有達成高潔凈度標(biāo)準，并要維持*好狀態(tài)的觀念和規(guī)范:
1、進入潔凈室的人員應(yīng)嚴格要求執(zhí)行人身凈化制度、路線和順序。退出潔凈室時，必須按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶門廳。
2、若有吹淋室，必須按規(guī)定進行吹淋后,方可進入潔凈室內(nèi)。同時，嚴格按照風(fēng)淋室的規(guī)格和使用要求，控制每次進入風(fēng)淋室風(fēng)淋的人數(shù)，不允許正在風(fēng)淋室強行關(guān)閉運行風(fēng)機或電源。一般經(jīng)過風(fēng)淋，人身表面散發(fā)的灰塵粒子數(shù)減少40—60% 。
3、為不干擾室內(nèi)的潔凈氣流型式，在作業(yè)區(qū)上流側(cè)不應(yīng)放置物品，回風(fēng)口附近不要堆放物；送風(fēng)孔板下不應(yīng)堵塞和堆放物品，生產(chǎn)操作應(yīng)在潔凈工作臺或氣流的上游進行。
4、不允許將與生產(chǎn)無關(guān)的和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室內(nèi)。
5、嚴禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進行非生產(chǎn)性活動。
6、進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。
7、戴帽時，應(yīng)將頭發(fā)全部遮住，鞋套應(yīng)將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。
8、脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內(nèi)或掛在規(guī)定的處所。
9、退出潔凈室時，在更衣區(qū)前不允許脫掉潔凈工作服；脫去工作服后若再進入潔凈室內(nèi)，仍需按進入潔凈室的規(guī)定順序進行。
三、作業(yè)人員進入潔凈室數(shù)目以維持*小限度為原則（愈小愈好），并須依潔凈室進出標(biāo)準流程進出潔凈室。退出潔凈室時，可以不需要經(jīng)過空氣吹淋而進入更換區(qū)域。