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潔凈室的氣流速度和潔凈室換氣次數(shù)
潔凈室的氣流速度和潔凈室換氣次數(shù)，一直是凈化廠房潔凈室的設(shè)計(jì)中受到*大關(guān)注的問(wèn)題。目前隨著潔凈室凈化車間內(nèi)污染源的控制效果顯現(xiàn)及末級(jí)過(guò)濾器效率的提高等，對(duì)相關(guān)規(guī)范、準(zhǔn)則等提出的參考值是否偏于保守的問(wèn)題，已日漸顯現(xiàn)。首先，F(xiàn)FU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音等問(wèn)題，F(xiàn)FU維修的問(wèn)題，隨著得勝鑫凈化帶領(lǐng)著FFU水平的提高，現(xiàn)在已經(jīng)不是問(wèn)題。反倒是懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái)，受到關(guān)注。今天就先來(lái)探討一下潔凈室氣流速度的問(wèn)題。
　　
　　1潔凈室氣流速度參考值的應(yīng)用

　　潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;

　　(2)室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆颉⑵降鹊牧骶€，但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

　　(3)自凈時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來(lái)潔凈度的自凈時(shí)間決定于氣流速度;對(duì)自凈時(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下)，對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;

　　(4)末級(jí)過(guò)濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較高效率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過(guò)濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積*小;

　　(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過(guò)大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過(guò)大往往不必要，亦不一定有效果;

　　(6)對(duì)潔凈度要求低的潔凈室，有時(shí)換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。

　　以上因素，皆很難量化，只能分析對(duì)比并估計(jì)。因此在工程應(yīng)用中，對(duì)潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值，再按具體情況估計(jì)以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。

　　氣流速度用于單向流潔凈室;非單向流潔凈室宜用換氣次數(shù)，因?yàn)槠錃饬魉俣入y于測(cè)準(zhǔn);亦有用末級(jí)過(guò)濾滿布率來(lái)反映的，可用于各種氣流流型的潔凈室，一般滿布率100%相對(duì)于流速0.5m/s(100fpm)，25%相對(duì)于0.125m/s(25fpm)。當(dāng)前有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值見表1。

　　注：1、ISO14644-4對(duì)于氣流速度/換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，表中所列僅適用于微電子及IC工廠;對(duì)制藥廠只列ISO5級(jí)氣流速度>0.2m/s，對(duì)ISO6～8級(jí)皆未列出參考值。

　　2、(M)指混合流，N指非單向流;*指對(duì)污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區(qū)。

　　中有關(guān)氣流速度和換氣次數(shù)的推薦或參考值，應(yīng)該說(shuō)是先期經(jīng)驗(yàn)的反映。如ISO/DIS14664-4提出的數(shù)值皆明確適用于那類潔凈室的;IEST的推薦值亦是被一些權(quán)威機(jī)構(gòu)認(rèn)為僅適用于半導(dǎo)體工廠。但由于具體情況變化較大，有的經(jīng)驗(yàn)值可能已不適合當(dāng)前的室內(nèi)塵源控制措施及過(guò)濾器效率提高的情況。

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