定標(biāo)誤差應(yīng)不大于1%。
部件名稱
項(xiàng)目
TCR-D1400
旋轉(zhuǎn)工作臺
軸承類型
氣浮
主軸精度
±0.025μm
系統(tǒng)精度
0.06μm
測量*大外徑
Φ140mm(可擴(kuò)展)
*小內(nèi)徑
φ3mm
*大承重
60kg
轉(zhuǎn)速
5轉(zhuǎn)/min
垂直軸(Z軸)
垂直移動
300mm(可增高)
垂直移動方式
電動
*大檢測深度
60mm
水平臂(X軸)
水平移動
150mm
凸出量
25mm
水平移動方式
檢測器
采集器件
圓光柵
圓周采樣點(diǎn)數(shù)
4096
傳感器類型
電感傳感器
傳感器分辨率
0.01μm
輔助功能
圓度誤差
評定方法
*小二乘法(LSC)、
*小區(qū)域法(MZC)
*大外接圓法(MIC)、*小內(nèi)切圓法(MCC)
濾波波段
1、1-500、2-500、2-15、2-50、2-150、15-500、15-50、15-150、15-250、3-16、17-100
凹凸口剔除
自動識別間斷、自動和手動剔除凹凸口功能,部分圓弧測量圓度功能
軟件功能
圓度、波紋度、同軸度、垂直度、平行度、平面度
京公網(wǎng)安備 11010802025794號