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凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí)，可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠； 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái)，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺(tái)同時(shí)工作
凈化型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
凈化旋涂?jī)x帶加熱臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào)
CY-SPC4-SS-JH
勻膠機(jī)
電源電壓
AC220V, 50Hz
旋轉(zhuǎn)速度
0~9999rpm, adjustable
加速度
100~5000rpm/s
速度分辨率
1rpm
時(shí)間分辨率
1s
單步時(shí)間
3000s
基片尺寸
直徑≤4英寸（100mm）
腔體材質(zhì)
亞克力
操作方式
按鍵+液晶屏
點(diǎn)膠方式
手動(dòng)點(diǎn)膠，可選精密注射泵
勻膠曲線
每條曲線5段，共可存儲(chǔ)5條曲線
抽氣口
φ6mm快擰接口
真空吸盤
直徑10mm, 25mm, 55mm
整體尺寸
210mm×250mm×180mm
加熱板
加熱板尺寸
150*150mm
加熱溫度
RT~300C
溫度分辨率
0.1C
控溫精度
±1C
溫度均勻性
<±2C
電源
AC220V, 50Hz
凈化柜
尺寸
800*680*1700mm
內(nèi)部布局
內(nèi)部左側(cè)放4英寸亞克力腔體勻膠機(jī)，右側(cè)放加熱板
凈化等級(jí)
美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)100%
照明
內(nèi)置LED照明燈
排氣系統(tǒng)
真空泵
干式機(jī)械泵
抽氣速率
50L/min
電源
AC220V, 60Hz
