1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專(zhuān)業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計(jì)，精度高可靠性強(qiáng)，可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體，操作面板采用數(shù)字顯示，直觀高效。若客戶(hù)有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。

本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達(dá)到1.0E-3pa級(jí)別的真空度，較普通機(jī)械泵可以為用戶(hù)提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)：

真 空 管 式 爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管直徑	50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
	爐管長(zhǎng)度	1300mm
	爐膛長(zhǎng)度	1060mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	300mm+300mm+300mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測(cè)量部件	氣體質(zhì)量流量計(jì)
	測(cè)量量程	A通道：0～100SCCM    H2氣		備注：如需其它量程或氣體種類(lèi)，定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶(hù)的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)和量程的流量計(jì)。
		B通道：0～300SCCM    N2氣
		C通道：0～500SCCM    Ar氣
	測(cè)量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門(mén)	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-GZK103-A
	分子泵	CY-600
	前極泵	旋片泵
	抽氣速率	分子泵：600L/S	綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)：電阻規(guī)+電離規(guī)
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz

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