什么是FFU(層流罩)? FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡(jiǎn)便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
FFU(層流罩)具有特點(diǎn)： **：靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。 **：可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。 第三：負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且**。 第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。 第五：減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用在循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
FFU(層流罩)組合的關(guān)鍵性能參數(shù)： 模數(shù)尺寸（ceiling modular size）：安裝吊頂龍骨中心線的間距，F(xiàn)FU常用的標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)尺寸為1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’）。 實(shí)際尺寸（actual size）：中科圣杰的FFU過濾器的實(shí)際尺寸=模數(shù)尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm，模數(shù)尺寸為1200，900，600所對(duì)應(yīng)的FFU過濾器實(shí)際尺寸為1170，870，570，風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸為1174，874，574。 FFU(層流罩)機(jī)外余壓（ESP）：在某一設(shè)定風(fēng)速下，風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機(jī)外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機(jī)能克服潔凈室循環(huán)風(fēng)阻力的能力，無論是標(biāo)注FFU機(jī)外余壓或風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓TSP，都必需指名送風(fēng)風(fēng)速或風(fēng)量，否則沒有意義。 輸入能耗（input power consumption）：FFU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯然，F(xiàn)FU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn)，即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，輸入能耗不同。因此，如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn)，輸入能耗值沒有意義。 單體噪音（noise level）：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)在距離出風(fēng)面中心正下方1.2mm處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn)，即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，噪音不同。因此，如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn)，噪音值沒有意義。 FFU(層流罩)微振（micro vibration）：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU在*大運(yùn)轉(zhuǎn)工況點(diǎn)時(shí)的振動(dòng)幅度和振動(dòng)速率，單位分別是mm和mm/s。 送風(fēng)均勻度（air uniformity）：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在距離出風(fēng)面上方150mm（6”）的水平面上測(cè)量逐點(diǎn)的風(fēng)速，得出平均風(fēng)速值。平均風(fēng)速與*大風(fēng)速和*小風(fēng)速的偏差比即為送風(fēng)均勻度，單位為+/-%。標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002中要求FFU的任一點(diǎn)的送風(fēng)風(fēng)速與其平均風(fēng)速的偏差均應(yīng)在+/-20%以內(nèi)。 過濾器效率等級(jí)（filter grade）：依據(jù)歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822，過濾器等級(jí)從H10-H14，U15-U17?；蛞罁?jù)美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)MIL-282（HEPA），對(duì)于0.3um的效率值；依據(jù)美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC007.1，對(duì)于0.12um的效率值。
FFU(層流罩)的風(fēng)機(jī)模塊具有如下特點(diǎn)： 性能可靠：采用國(guó)內(nèi)出口品牌的內(nèi)轉(zhuǎn)子馬達(dá)及直驅(qū)離心葉片和電氣元器件。 型號(hào)齊全：根據(jù)馬達(dá)有交流（AC）和無刷直流（EC）；根據(jù)輸出靜壓有標(biāo)準(zhǔn)型和高靜壓型；根據(jù)模數(shù)尺寸有1200X600，1200X900，1200X1200，1500X750；根據(jù)箱體材質(zhì)有鋅鋁涂層鋼板（標(biāo)準(zhǔn)型）、不銹鋼型、鋁板。 優(yōu)異的出風(fēng)均勻度：達(dá)到并優(yōu)于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。 低噪音：科學(xué)的馬達(dá)風(fēng)機(jī)選型和轉(zhuǎn)速設(shè)計(jì)、獨(dú)特的導(dǎo)流和消音材料的應(yīng)用、合理的箱體尺寸設(shè)計(jì)，使中科圣杰FFU的噪音水平低于同類產(chǎn)品。 低微振：總振動(dòng)速率均小于1mm/s，振幅不超過4um低能耗和低散熱量，**的風(fēng)機(jī)品質(zhì)和動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，以及箱體本身的零壓損，使中科圣杰FFU在同樣的輸出工況時(shí)運(yùn)行能耗和散熱量低于同類產(chǎn)品。 靈活的控制方式：AC型可采用單臺(tái)獨(dú)立調(diào)速器或分組變壓式調(diào)速器，并兼有報(bào)警指示功能。
FFU(層流罩)主要技術(shù)參數(shù)：
FFU(層流罩)集中監(jiān)控系統(tǒng)
FFU作為一種凈化設(shè)備，目前在各種潔凈工程中得到廣泛應(yīng)用。FFU集中監(jiān)控系統(tǒng)則是把幾十、幾百乃至上千個(gè)FFU通過FFU監(jiān)控主機(jī)將其聯(lián)接起來并進(jìn)行監(jiān)控，并可以上傳至電腦中，由電腦系統(tǒng)方便地實(shí)現(xiàn)風(fēng)機(jī)分區(qū)啟停、故障報(bào)警、歷史記錄等功能。當(dāng)計(jì)算機(jī)關(guān)機(jī)時(shí)，監(jiān)控主機(jī)可以獨(dú)立進(jìn)行24小時(shí)監(jiān)控。
由于本系統(tǒng)針對(duì)FFU功率小但臺(tái)數(shù)多場(chǎng)合，故采用計(jì)算機(jī)集中監(jiān)控以方便操作，系統(tǒng)包括以下四部分內(nèi)容： ·一拖二智能單元（采用電容、變壓器調(diào)壓式或電機(jī)抽頭式調(diào)速） ·32路集線器 ·FFU控制主機(jī) ·計(jì)算機(jī)集中監(jiān)控系統(tǒng) ·低壓控制柜