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產(chǎn)品資料

Transpector 2殘余氣體分析儀

Transpector 2殘余氣體分析儀
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
  • 產(chǎn)品名稱：Transpector 2殘余氣體分析儀
  • 產(chǎn)品型號：C100F，C100M，H100F，H100M，H200F，H200M，H300F，H300M
  • 產(chǎn)品展商：Inficon
  • 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
inficon Transpector 2殘余氣體分析儀，超高靈敏度和性能優(yōu)于的新一代殘余氣體分析儀，高靈敏性改善污染控制。
產(chǎn)品描述
Transpector 2殘余氣體分析儀Transpector® 氣體分析系統(tǒng)是一種 RGA，可在半導(dǎo)體制造業(yè)中，為真空過程監(jiān)控、過程診斷和泄漏檢測提供**而可靠的數(shù)據(jù)。 與之相比，Transpector 2殘余氣體分析儀Transpector 2 提高了氫氣靈敏度，使下限達(dá) ppm 量級的污染均可一覽無余，低電平信號下的掃描速度快達(dá)四倍，動態(tài)掃描范圍更為寬泛，可在更低的可檢分壓強(qiáng)下提供更純凈的數(shù)據(jù)。

Transpector 2殘余氣體分析儀功能

  • 100-amu、200-amu 和 300-amu 系統(tǒng)配備有法拉第杯或組合式電子倍增器/法拉第杯
  • 提高氫氣檢測水平
  • 優(yōu)異的峰值振幅和位置穩(wěn)定性
  • 與原始 Transpector 相比，信噪比高達(dá) 10 倍
  • 低電平信號下掃描速度更快
  • 九個數(shù)量級的電子動態(tài)量程
  • 針對單腔室系統(tǒng)和多腔室系統(tǒng)的軟件選項(xiàng)
  • 從 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范圍內(nèi)的分壓力測量
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