Agilent SH-110渦旋式干泵是業(yè)內(nèi)**的干式密封渦旋泵,可以方便地組裝到原始設(shè)備制造商 (OEM) 系統(tǒng)中。這種單級泵體積小巧,抽速 110 升/分(頻率 60 Hz),極限壓力 50 mtorr (0.07 mbar),是許多*終用戶應(yīng)用的理想選擇。
Agilent SH-110渦旋式干泵典型應(yīng)用符合歐盟認證 (CE)、加拿大標準協(xié)會認證 (CSA) 和 Semi S2-0200 的要求。
Agilent SH-110渦旋式干泵典型應(yīng)用:
掃描電子顯微鏡
安捷倫的渦旋泵提供清潔可靠的無油真空,是電子掃描顯微鏡等要求苛刻的儀器類應(yīng)用的理想選擇。
各種驗實應(yīng)用
久經(jīng)考驗的渦旋泵技術(shù)在低壓強下提供長期可靠的無油真空。渦旋泵的工作原理從根本上消除了可能產(chǎn)生嚴重后果的突發(fā)故障的可能(如膜片泵)。IDP-2、IDP-3以及SH-110重量輕(IDP-3僅為9.5公斤),而且安裝了把手,易于移動,是實驗室應(yīng)用的理想選擇。
進樣室和傳輸室
越來越多的實際使用實例已經(jīng)證明了,對于要求潔凈無油的生產(chǎn)工藝中的進樣室和傳輸室,渦旋式干泵是性能*可靠低成本的*佳選擇。
光束線
渦旋式干泵與分子泵和離子泵協(xié)同工作可快速獲得無油真空。安捷倫公司為同步輻射、光束線等加速器的科學(xué)實驗提供了無油清潔的真空解決方案。
干燥爐
渦旋式干泵避免了油封式旋片泵返油的風(fēng)險,同時,高效的氣鎮(zhèn)閥確保其在抽除水蒸氣過程中的可靠運行。
低溫泵的再生
由于其超群的排水蒸氣能力,安捷倫渦旋式干泵適用于低溫泵的再生。對于此應(yīng)用,建議使用惰性氣體(或氮氣)的吹掃件,以進一步提高泵的耐水蒸氣和其他可凝氣體的能力。
手套箱
對于嚴格的制造工藝,安捷倫渦旋式干泵可以避免油污染,使工藝更加潔凈,同時無需昂貴的廢油處理,保護環(huán)境。
分子泵機組的前級泵
渦旋式干泵是分子泵理想的前級泵,與分子組成了**的無油高真空機組,被廣泛地運用于各種高真空應(yīng)用,如質(zhì)譜分析等。
檢漏儀
安捷倫專門為氦氣質(zhì)譜檢漏儀提供的特殊Triscroll渦旋式干泵,提高了對氦氣的壓縮比,降低了氦本底,是干式檢漏儀的*佳前級泵。