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氦氣壓縮機的基本知識
 　　氦氣壓縮機是低溫泵系統(tǒng)或其他制冷單元的核心驅(qū)動單元，用于向低溫泵或其他制冷單元提供高純度氦氣。氦氣壓縮機主要應(yīng)用于半導(dǎo)體前道制程設(shè)備的蒸發(fā)、濺射和離子注入的真空系統(tǒng)，同時在天文、航天、醫(yī)療領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。
　　氦氣壓縮機可以驅(qū)動不同尺寸的低溫泵，按照法蘭的口徑分成：8英寸、10英寸和16英寸。氦氣壓縮機也可以用于不同制造商生產(chǎn)的低溫泵。
　　氦氣壓縮機廣泛應(yīng)用于航空航天、高壓特種檢測、**領(lǐng)域、各種動力實驗、海洋科考、油氣勘探、稀有氣體回收、天然氣加氣站、核電水電系統(tǒng)、市政工程、呼吸空氣保護(hù)和消防**等領(lǐng)域。


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