- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：UV Laser Writing System for Photolithography
- 產(chǎn)品型號(hào)：HO-LWS-PUV
- 產(chǎn)品展商：holmarc
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2020-03-24
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簡單介紹
Holmarc設(shè)計(jì)了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器，專門設(shè)計(jì)用于為用戶提供*大的自由度，使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。
系統(tǒng)支持高達(dá)4096級(jí)的灰度等級(jí)，支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu)，表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項(xiàng)目，使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。
產(chǎn)品描述
Holmarc設(shè)計(jì)了具有高精度組件的多功能4“基板UV激光寫入器，專門設(shè)計(jì)用于為用戶提供*大的自由度，使其可以在光敏層中創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。
系統(tǒng)支持高達(dá)4096級(jí)的灰度等級(jí)，支持3D光學(xué)結(jié)構(gòu)，表面結(jié)構(gòu)以及蒙版項(xiàng)目，使該系統(tǒng)成為用于研發(fā)的理想Litho工具。
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激光
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GaN激光二*管
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波長
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405納米
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空間過濾單元
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基于物鏡
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光斑尺寸
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1微米（取決于物鏡）
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強(qiáng)度
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現(xiàn)場(chǎng)軟件控制的*大3 mW
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光功率反饋單元
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是
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焦點(diǎn)控制
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軟件可控
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燈光控制
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4096級(jí)
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XY掃描臺(tái)行程
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100毫米
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解析度
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1微米
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Z軸行程
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20毫米
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解析度
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：
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1微米
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