氣流的重要性
潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的潔凈之移動、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其潔凈的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些產生的潔凈一旦擴散，即無法維持潔凈空間，因此必須利用氣流將產生的潔凈迅速排出室外。
風速的控制
潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流快速是選0.25~0.5m/s之間，此氣流快速屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而維持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以*適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經濟性效果。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之維持亦為一重要因素，均一氣流若無法維持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面產生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。
垂直層流式方向要維持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有快速上的差異；(b)地板回風板吸入面之風速不可有快速上的差異?？焖龠^低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象產生，而0.5m/s之快速，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
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