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一維二維標準立體柵格臺階/凹槽

如果您對該產品感興趣的話，可以
產品名稱：一維二維標準立體柵格臺階/凹槽
產品型號：AUBAT-YW1000
產品展商：AUBAT
產品文檔：無相關文檔

簡單介紹

激光共聚焦顯微鏡利用共軛點照明、點探測原理，通過激光逐點照明掃描和空間針孔調制技術獲取光學層析圖像，從而得到被測物體二維圖像或三維表面形貌參數(shù)的儀器。共聚焦顯微鏡具有多種照明約束和探測形式，被廣泛應用于材料科學、微納米加工、半導體器件和生命科學等領域。

產品描述

JJF2160-2024激光共聚焦顯微鏡校準規(guī)范
標準球
貨號：AUBAT-G2160
形狀誤差≦0.3μm
直徑(0.3-5)mm

一維標準立體柵格
貨號：AUBAT-YW1000
柵格平均間距(5~20)μm U≦0.5%，k=2；
柵格平均間距(500~5000)nm U≦1%，k=2；

二維標準立體柵格
貨號：AUBAT-RW2000
柵格平均間距20μm，U≦0.5%，k=2；
柵格平均間距10μm，U≦0.5%，k=2；

標準臺階
AUBAT-NT100

標準臺階高度/溝槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；

標準凹槽
AUBAT-AT200
標準臺階高度/溝槽深度(200~10000)nm，U≦1%,k=2；

本規(guī)范適用于激光共聚焦顯微鏡的校準，其他基于共聚焦原理的顯微鏡校準也可參照本規(guī)范。激光共聚焦顯微鏡利用共軛點照明、點探測原理，通過激光逐點照明掃描和空間針孔調制技術獲取光學層析圖像，從而得到被測物體二維圖像或三維表面形貌參數(shù)的儀器。共聚焦顯微鏡具有多種照明約束和探測形式，被廣泛應用于材料科學、微納米加工、半導體器件和生命科學等領域。

計量特性
1 水平方向長度測量誤差：不超過±5%
2 垂直方向長度測量誤差：不超過±5%
3 水平方向長度測量重復性：不超過2%
4 垂直方向長度測量重復性：不超過2%
5 水平方向正交誤差：不超過1%
6 畸變：不超過±10%
7 *大可測傾角:20°~80°
8 水平方向拼接誤差:不超過10%
9 垂直方向拼接誤差：不超過10%
10 載物臺定位誤差：不超過0.05mm