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單晶硅超光滑樣塊JJF皖146-2023白光輪廓儀

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產(chǎn)品名稱：單晶硅超光滑樣塊JJF皖146-2023白光輪廓儀
產(chǎn)品型號(hào)：AUBAT-146
產(chǎn)品展商：AUBAT
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

單晶硅超光滑樣塊JJF(皖)146-2023白光干涉輪廓儀校準(zhǔn)規(guī)范貨號(hào)：AUBAT-146,U≦1.5nm K=2表面粗糙度（Ra）示值誤差，選用單晶硅超光滑樣塊進(jìn)行校準(zhǔn)。

產(chǎn)品描述

JJF(皖)146-2023白光干涉輪廓儀校準(zhǔn)規(guī)范
貨號(hào)：AUBAT-146
名稱：單晶硅超光滑樣塊

參數(shù)：U≦1.5nm K=2

品牌：AUBAT

廠家：奧本精密

證書(shū)：中國(guó)計(jì)量院或者304所證書(shū)

訂制：可非標(biāo)定制

本規(guī)范適用于白光干涉輪廓儀的校準(zhǔn)。白光干涉輪廓儀主要用于樣品微納級(jí)表面粗糙度、臺(tái)階高度等表面形貌特征的測(cè)量和分析，在納米科學(xué)、材料科學(xué)等研究領(lǐng)域以及半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中廣泛應(yīng)用。

校準(zhǔn)方法：
表面粗糙度（Ra）示值誤差
白光干涉輪廓儀表面粗糙度示值誤差選用單晶硅超光滑樣塊進(jìn)行校準(zhǔn)。在超光滑樣塊有效區(qū)域內(nèi)任意選取一條中心線進(jìn)行測(cè)量，按公式計(jì)算白光干涉輪廓儀表面粗糙度示值誤差。按上述方法連續(xù)重復(fù)測(cè)量 10 次，按公式計(jì)算其測(cè)量數(shù)據(jù)的平均值作為??光干涉輪廓儀表面粗糙度測(cè)量結(jié)果。

垂直（Z）方向示值誤差
垂直（Z）方向示值誤差使用白光干涉輪廓儀對(duì)微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板的臺(tái)階高度直接測(cè)量后得出。選取微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板的中心測(cè)量線作為臺(tái)階高度的測(cè)量位置，圖中 W 代表臺(tái)階可測(cè)寬度，以 A、B、C 三個(gè)區(qū)域?yàn)闇y(cè)量區(qū)域，選取測(cè)量臺(tái)階可測(cè)寬度的三倍進(jìn)行測(cè)量，即 A、B、C 三個(gè)區(qū)域選取均為臺(tái)階可測(cè)寬度，測(cè)量時(shí)采用相對(duì) A、B、C 測(cè)量區(qū)域中心點(diǎn)對(duì)稱的三分之一 W 寬度作為有效計(jì)算區(qū)域。

水平（X、Y）方向示值誤差
水平（X、Y）方向示值誤差使用白光干涉輪廓儀對(duì)微納米線間隔樣板的線間隔直接測(cè)量后得出。在微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板的有效測(cè)量區(qū)域內(nèi)，選取多個(gè)周期的線間隔長(zhǎng)度作為數(shù)據(jù)采集區(qū)。選取依據(jù)如下：

對(duì)于線間隔小于 1 μm 的微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板，在微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板的有效測(cè)量區(qū)域內(nèi)選取任意 10 個(gè)線間隔的長(zhǎng)度作為數(shù)據(jù)采集區(qū)；對(duì)于其它尺寸的微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板，可以在微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板的有效測(cè)量區(qū)域內(nèi)選取 2~10 個(gè)線間隔長(zhǎng)度作為數(shù)據(jù)采集區(qū)。

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