一維柵格/二維柵格

柵格平均間距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2；

柵格平均間距(5~20)um Urel≦1%,k=2;

垂直角度 MPE:±0.1°

XY 方向長度測量誤差、重復性、正交誤差；

光學顯微干涉式三維表面形貌測量是一種利用光學干涉原理對樣品表面三維形貌進行精密測量的儀器，在樣品表面垂直方向上可以達到亞納米級的分辨力，廣泛應用于材料、半導體等領域。大多數(shù)情況下，測量儀使用白光作為光源，故也被稱作白光干涉儀。

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