WaveSensor & WaveMaster® 波前測(cè)試系統(tǒng)

夏克-哈特曼波前傳感器

  為了能夠驗(yàn)證復(fù)雜的光學(xué)設(shè)計(jì)在生產(chǎn)中是否成功，必須使用一個(gè)有效的檢測(cè)技術(shù)。波前測(cè)量特別適合此目的，因?yàn)樗梢栽诳臻g分辨的基礎(chǔ)上確定圖像質(zhì)量，包括所有視場(chǎng)角上和整個(gè)樣品孔徑。與傳統(tǒng)的MTF測(cè)試相比，波前測(cè)試是用點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)進(jìn)行評(píng)價(jià)，可覆蓋整個(gè)樣品口徑。













產(chǎn)品特點(diǎn)
01 ▏靈敏度高
WaveSensor和WaveMaster®系列波前測(cè)試系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)范圍高達(dá)2000λ，可在鏡頭設(shè)計(jì)中實(shí)現(xiàn)高度靈敏的測(cè)量。



02 ▏重復(fù)精度高
除了高達(dá)λ/20 (RMS)的測(cè)量精度外，由于緊湊、堅(jiān)固和抗振的設(shè)計(jì)，還實(shí)現(xiàn)了λ/200 (RMS)的高重復(fù)性。



03 ▏實(shí)時(shí)分析
實(shí)時(shí)將測(cè)量波前數(shù)據(jù)的結(jié)果與樣品鏡片或設(shè)計(jì)值的結(jié)果進(jìn)行比較和評(píng)估。



















產(chǎn)品概述




WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 Plan

鏡頭和晶圓的系列測(cè)試

WaveMaster® PRO 2 用于光學(xué)鏡頭和光學(xué)鏡片的批量測(cè)試。

全自動(dòng)批量測(cè)量樣品（晶圓或裝載的托盤(pán)）

單個(gè)鏡頭測(cè)量時(shí)間少于3秒，高效的測(cè)量提高了檢測(cè)效率

用戶自定義的通過(guò)/失敗標(biāo)準(zhǔn)，用于應(yīng)用的質(zhì)量控制，與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)或主樣本進(jìn)行比較

 

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