硅壓阻式壓力傳感器的零點(diǎn)溫度漂移和靈敏度溫度漂移是影響傳感器功能的首要因素之一，怎么能使該類差錯(cuò)得到有用抵償關(guān)于進(jìn)步其功能很有含義。經(jīng)過對(duì)硅壓阻式壓力傳感器樹立高階溫度抵償模型進(jìn)行溫度差錯(cuò)抵償是一種有用的辦法，并在該模型基礎(chǔ)上給出了擬合系數(shù)核算辦法，并用Matlab GUI軟件來完成溫度抵償系數(shù)核算，進(jìn)而完成傳感器輸出的動(dòng)態(tài)溫補(bǔ)，達(dá)到了極好的輸出線性性。試驗(yàn)結(jié)果表明，抵償后傳感器輸出的非線性差錯(cuò)小于0.5% F.S.
0 導(dǎo)言
硅壓阻式壓力傳感器使用半導(dǎo)體資料的壓阻效應(yīng)來進(jìn)行壓力丈量，以其體積小、靈敏度高、技能老練等長(zhǎng)處，在各行業(yè)中得到了廣泛使用。實(shí)踐工程使用中因?yàn)楣栀Y料受溫度的影響，致使零點(diǎn)漂移和靈敏度漂移，因而溫度抵償問題是進(jìn)步傳感器功能的一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。當(dāng)前壓力傳感器首要有兩種溫度抵償辦法：硬件抵償和軟件抵償。硬件抵償辦法存在調(diào)電加熱管，溫度傳感器，，,，，，,，試艱難、精度低、本錢高、通用性差等缺陷，不利于工程實(shí)踐使用；使用數(shù)字信號(hào)處置技能的軟件抵償可以戰(zhàn)勝以上缺陷，也逐步變成研討熱門。色差儀超聲波測(cè)厚儀便攜式硬度計(jì)K型熱電偶紅外線測(cè)溫儀液位傳感器pt100熱電阻濕度傳感器
當(dāng)前軟件抵償?shù)霓k法首要有：查表法、二元插值法、BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)法、小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)辦法、曲線曲面擬合辦法等。查表法需求占用很大內(nèi)存空間，而神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)辦法存在網(wǎng)絡(luò)不穩(wěn)定、練習(xí)時(shí)刻較長(zhǎng)的缺陷不利于工程使用。在研討各類軟件抵償辦法的基礎(chǔ)上對(duì)壓力傳感器選用樹立高階溫度抵償模型進(jìn)行溫度差錯(cuò)抵償，并且在Matlab GUI軟件平臺(tái)下完成高階溫度抵償系數(shù)的核算，經(jīng)過試驗(yàn)對(duì)該辦法進(jìn)行驗(yàn)證。
1 高階溫度抵償模型的樹立
1.1 高階溫度抵償建模
壓力傳感器輸出非線性差錯(cuò)首要是由零點(diǎn)溫度漂移和靈敏度溫度漂移發(fā)生，零點(diǎn)溫度漂移是因?yàn)殡娮钃诫s不一樣而致使電阻的溫度系數(shù)不一樣，靈敏度溫度漂移首要因?yàn)閴鹤柘禂?shù)易隨溫度的升高而削減。對(duì)于溫度對(duì)傳感器輸出影響，選用對(duì)零點(diǎn)溫度漂移和靈敏度漂移樹立高階抵償模型進(jìn)行一致抵償，抵償后壓力值 Press（T ）表明為溫度傳感器電壓輸出VT